В. И. Гавриленко

Электрические свойства p-n переходов

Руководитель

Юнин Павел Андреевич

Краткое описание работы

Лабораторная работа посвящена исследованию морфологии реальных поверхностей. В рамках работы проводится измерение параметров шероховатости поверхностей полупроводниковых структур различной степени обработки. В качестве методов анализа используются оптическая интерференционная микроскопия белого света и контактная профилометрия. Оба метода позволяют получить прямую информацию о распределении высот точек поверхности. Для характеризации шероховатости поверхностей используется статистическое и фрактальное описание. Проводится сравнение двух экспериментальных методов исследования морфологии поверхности и двух подходов к описанию шероховатости.

Список оборудования

Учебно-методическое пособие

Фото оборудования

Экспериментальная установка BALZERS